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博世德累斯頓晶圓廠首批硅晶圓下線
陳浩
陳浩
原創(chuàng) · 0瀏覽·2021-03-10 06:00
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[汽車之家 資訊] 日前,博世德累斯頓晶圓廠宣布其首批硅晶圓從全自動(dòng)化生產(chǎn)線下線,為其2021年下半年正式啟動(dòng)生產(chǎn)運(yùn)營奠定基礎(chǔ)。據(jù)悉,該工廠投產(chǎn)后,將會(huì)主攻車用芯片制造。

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據(jù)官方介紹,2021年1月,德累斯頓晶圓廠開始進(jìn)行首批晶圓的制備。博世將利用這批晶圓來制造功率半導(dǎo)體,以應(yīng)用于電動(dòng)車及混合動(dòng)力車中DC-DC轉(zhuǎn)換器等領(lǐng)域。這批晶圓生產(chǎn)歷時(shí)六周,共經(jīng)歷了約250道全自動(dòng)化生產(chǎn)工序,以便將微米級(jí)的微小結(jié)構(gòu)沉積在晶圓上。目前,這些微芯片正在電子元件中進(jìn)行安裝和測試。2021年3月,博世將開始生產(chǎn)首批高度復(fù)雜的集成電路。從晶圓到最終的半導(dǎo)體芯片成品,整個(gè)生產(chǎn)流程將經(jīng)歷約700道工序,耗時(shí)10周以上。

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博世德累斯頓晶圓廠的核心技術(shù)為直徑為300毫米晶圓制造,單個(gè)晶圓可產(chǎn)生31000片芯片。與傳統(tǒng)的150和200毫米晶圓相比,300毫米晶圓技術(shù)將使博世進(jìn)一步提升規(guī)模效益并鞏固其在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域的競爭優(yōu)勢(shì)。此外,全自動(dòng)化生產(chǎn)和機(jī)器設(shè)備之間的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)交換還將顯著提高德累斯頓晶圓廠的生產(chǎn)效率。

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據(jù)悉,這一晶圓廠從2018年6月開始施工建設(shè),占地面積約10萬平方米。2019年下半年,德累斯頓晶圓廠完成外部施工,其建筑面積達(dá)到72,000平方米。博世隨后進(jìn)行了工廠內(nèi)部施工,并在無塵車間安裝了首批生產(chǎn)設(shè)備。2020年11月,初步建成的高精密生產(chǎn)線完成了首次全自動(dòng)試生產(chǎn)。在德累斯頓晶圓廠的最后建設(shè)階段,工廠將聘用700名員工,負(fù)責(zé)生產(chǎn)管理和監(jiān)測以及機(jī)器設(shè)備維護(hù)工作。(編譯/汽車之家 陳浩)

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